摘要
本发明公开了一种镀材蒸气空间分布自调节蒸发舟,所述蒸发舟包括蒸发舟基体、保温层、热电器件、水冷围板、储能装置、膜厚监测装置、高度监测装置、控制模块、高度调节装置,其中水冷围板、热电器件、保温层、蒸发舟基体为分体式结构且一一对应,依次由外向内逐层分布。本发明所述热电器件可利用保温层与水冷围板之间的温差产生电能,储存在储能装置中,用于驱动膜厚监测装置、高度监测装置、控制模块、高度调节装置。当镀膜辊膜厚均匀性误差超出设定值后,控制模块将基于自调节算法,对膜厚数据与距离数据进行分析计算,并将计算结果反馈至高度调节装置,对两端的蒸发舟基体分块进行高度调节,改变镀膜幅宽方向的镀材蒸气空间分布,实现均匀镀膜。
技术关键词
膜厚监测装置
分块
基体
控制模块
储能装置
保温层
水冷
围板
镀膜
热电器件材料
多层保温材料
分体式结构
数据
硒化铟
碲化铅
碲化铋
幅宽
算法