一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构

本发明属于芯片加工技术领域，具体为一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构，包括升降台，升降台的底部固定连接有升降气缸，升降台为空心结构，升降台的顶部开设有多个均布的出风孔，升降台的底部两侧均固定连通有离子风管，离子风管和升降台的内腔连通，升降台的内腔和出风孔连通，离子风管的外端和离子风机连通，升降台的顶部两侧均固定有挡板。本发明的离子风与气缸振动的双重作用，可以防止芯片因为静电吸附作用而吸附在Tray盘上，避免后续Tray盘翻转过程中芯片因为静电吸附而掉落损坏的异常发生。