摘要
本发明公开了一种芯片测试保温测试系统,涉及半导体技术领域,包括输送单元、高温加热检测单元、保温测试单元、非接触式加热保温单元以及降温单元,高温加热检测单元内部存储有多个排列有序的芯片,能够对芯片进行加热,保温测试单元能够检测芯片在输送过程中的温度,能够直接为温度过低的芯片进行加热,且能够对加热后的芯片进行性能检测,非接触式加热保温单元安装在保温测试单元的上部,能够对芯片输送路径的环境温度进行加热,降温单元能够以风冷的方式一次对多个芯片进行降温。该芯片测试保温测试系统,通过各个单元的相互配合,能够共同完成芯片自身在高温条件下,性能表现的测试,能够对大批量的芯片进行性能测试,效率高。
技术关键词
加热保温机构
红外测温仪
输送单元
非接触式
加热部件
工位
设备箱
检测芯片
导热块
侧盖板
旋转运动机构
直线驱动模组
轨道
基座