一种超声脱气组件及其制造方法

本发明涉及环保检测和处理技术技术领域，公开了一种超声脱气组件及其制造方法，包括石英玻璃基底。本发明通过所获得的模块的石英玻璃侧，可以其为基层，并在其上加工微流控芯片，与预制了微流道的PDMS模块键合，形成微流控芯片；其背面的压电陶瓷模块的电极与高频高压电源连接，可在其驱动下产生超声波；待测水样通过该芯片时，在区域1由于超声波的空化作用，其中溶解气体逸出，且由于该区域石英基底亲水性强，气泡难以在该区域聚集，而随水流进入区域2，区域2石英玻璃基底表面疏水性强，气泡易于滞留及合并，并通过侧面排气通路周期性排出，该模块可有效防止后续过程中气体析出及对流道通畅性和检测准确性的影响。