摘要
本发明实施例公开了一种芯片封装结构及其制作方法,涉及封装技术领域。芯片封装结构包括:软板,软板一侧表面设置第一金属引脚,软板设置出液孔,出液孔贯穿软板;芯片,包括芯片本体和液体流道层,液体流道层位于芯片本体与软板之间,具有空腔;其中,液体流道层与软板远离第一金属引脚的一侧表面贴合,出液孔与空腔连通形成墨腔。本发明实施例提供的芯片封装结构,将流道结构的出液孔和流道层分别设置在软板和芯片上,提高芯片的散热能力,保证芯片正常工作,降低芯片的制备难度,降低成本,提高芯片的制备效率。
技术关键词
芯片封装结构
软板
液体
流道结构
涂胶层
焊接线
空腔
对准标记
触点