一种监测并控制反应溶液颗粒浓度的方法

本发明提供了一种监测并控制反应溶液颗粒浓度的方法，属于半导体工艺中的颗粒浓度监测与控制技术领域。采集内循环系统管道内的实时颗粒浓度数据、温度数据和入水口中纯水的流速数据，基于预处理后的数据，构建反应室中的颗粒浓度模型和温度模型，利用偏微分方程描述浓度和温度在溶液中的动态演化过程。其次，将构建的浓度模型和温度模型数字化为仿真模型，并在虚拟环境中进行优化，搜索最佳满足控制目标的纯水流速和温度补偿量的控制策略。以仿真环境为基础，建立基于强化学习的控制器，并在仿真环境中训练该控制器，使其学习最优控制策略。最后，将训练后的控制器部署到实际浓度监测系统中，实现高效闭环的监测与控制。