摘要
本发明属于倒装芯片技术领域,具体涉及倒装芯片封装中去除溢胶的工艺方法。工艺方法:晶圆正面进行凸点工艺制备,在附有凸点的晶圆背面粘附膜材料;将晶圆切割为单颗芯片;在基板上涂填充胶,填充胶包含非流动填充胶、混合填充胶、流动填充胶,填充胶在基板上的涂覆位置从外到内依次为,非流动填充胶、混合填充胶、流动填充胶;将芯片放在基板上,焊接;去除芯片上的膜材料;非流动填充胶:热固性树脂、助剂;助剂包含硼酸盐类化合物、有机胺类化合物、十六烷基硫酸钠;流动填充胶:环氧树脂二、固化剂、含二氧化硅类物质;混合填充胶:非流动填充胶、流动填充胶、相容剂。本发明能减少倒装芯片封装中溢胶的出现,降低去除溢胶的难度。
技术关键词
填充胶
倒装芯片封装
聚酰胺类化合物
凸点工艺
热固性树脂
环氧树脂
热固性酚醛树脂
咪唑类化合物
固化剂
基板
倒装芯片技术
UV减粘胶
剥离膜
粘保护膜
涂覆
助剂
相容剂
纳米二氧化硅