纳米陶瓷结合剂及其制备方法、硅基半导体芯片背面减薄砂轮及其制备方法和应用

本发明涉及一种纳米陶瓷结合剂及其制备方法、硅基半导体芯片背面减薄砂轮及其制备方法和应用，纳米陶瓷结合剂的制备方法包括如下步骤：将溶有十二烷基苯磺酸钠的无水乙醇溶液与正硅酸乙酯混合均匀，同时加入酸性pH调节剂，再加入螯合剂并搅拌至澄清透明，得到A液；将九水合硝酸铝、硼酸、硝酸钠加入至去离子水与无水乙醇的混合液中混合均匀，得到B液；将B液分多次加入至A液中，经缩聚、水解反应得到凝胶；将凝胶老化处理后进行干燥、烧结，得到纳米陶瓷结合剂；硅基半导体芯片背面减薄砂轮的制备方法包括如下步骤：将金刚石、复合造孔剂与纳米陶瓷结合剂混合均匀，得到混合粉料，将粉料压制成型、烧结后制得砂轮块，砂轮块与基体固化粘接或者钎焊焊接，得到硅基半导体芯片背面减薄砂轮。与现有技术相比，本发明具有等优点。