百毫瓦级输出的薄膜铌酸锂波导放大器及实现方法

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百毫瓦级输出的薄膜铌酸锂波导放大器及实现方法
申请号:CN202410743431
申请日期:2024-06-11
公开号:CN118604944A
公开日期:2024-09-06
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种百毫瓦级输出的薄膜铌酸锂波导放大器及实现方法,利用掺杂铒离子薄膜铌酸锂波导作为增益载体来制备同时具备大模场、单模传输和百毫瓦高功率输出的集成光子器件。所述波导放大器的结构由大模场波导、低损耗的绝热锥形耦合结构、以及具有过滤高阶模式功能的弯曲波导组成。器件是在绝缘体上铌酸锂衬底上制备所得。这种大模场波导有助于增加能量存储容量和增益饱和功率,同时减弱了铌酸锂材料中的非线性效应,具备高度片上集成性优势。本发明可以应用在弱激光信号的中继放大、高功率芯片光频梳的生成、激光雷达的微型化等方面。
技术关键词
波导放大器 耦合结构 薄膜 弯曲 基片 集成光子器件 版图 二氧化硅 锥形 掩膜材料 集成器件 高功率 机械抛光 基底 激光雷达 芯片 上沉积 层厚度
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