一种气体的质量流量测量方法、装置及质量流量控制器

本申请实施例适用于制造工艺技术领域，提供了一种气体的质量流量测量方法、装置及质量流量控制器，所述方法应用于质量流量控制器，所述质量流量控制器设置有气体通道、位于所述气体通道上的串联的多组测量单元，所述方法包括：获取各组所述测量单元的质量流量测量值；依据所述质量流量测量值和预设对应关系确定目标测量单元；所述对应关系包括各所述测量单元及其对应的测量范围；将所述目标测量单元的质量流量测量值确定为质量流量计算值；其中，所述测量单元由限流器和压力传感器组成，本申请实施例能够实现在质量流量控制器的量程范围内，均采用精度较高的测量单元输出质量流量计算值。