摘要
本发明提出了低暗电流p on n型碲镉汞器件、制备方法及红外探测器,其中,制备方法包括:S10,建立p on n型碲镉汞器件的仿真模型,通过性能测试实验分别获取p型层掺杂浓度、n型层掺杂浓度、过渡层厚度与暗电流间的关系趋势;S20,基于获得的关系趋势,确定待制备的p on n型碲镉器件的p型层、n型层掺杂浓度范围及过渡层的厚度范围;S30,生长衬底层,在衬底层上依次生长n型层、过渡层和p型层;其中,当p on n型碲镉器件为台面型长波器件时,n型层的掺杂In浓度范围为1×1015/cm3~1×1018/cm3,过渡层的厚度范围为0.1μm~0.3μm,p型层的掺杂Hg空位或As浓度范围为5×1015/cm3~5×1017/cm3。本发明可制备低暗电流器件,应用价值高。
技术关键词
低暗电流
碲镉汞器件
红外探测器
层厚度
仿真模型
生长衬底
关系
衬底层
台面
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