摘要
本发明公开了一种基于DOE分束器的激光超声应力消除方法和装置,该方法包括:根据样品特征和加工需求调节脉冲激光器的参数,使其发射预设能量和频率的脉冲激光;设计DOE分束器的衍射图案,使脉冲激光通过DOE分束器得到多个预设形状的激光分束;将多个预设形状的激光分束通过聚焦透镜聚焦到样品表面激发超声波,对样品进行应力消除处理。本方案能够有效改善样品的力学性能和稳定性,提高样品加工精度和效率。
技术关键词
应力消除方法
激光超声
分束器
脉冲激光器
应力消除装置
扫描控制系统
聚焦透镜
样品表面温度
样品特征
衍射光学元件
光斑
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