摘要
本发明实施例公开一种扇出型封装结构及其制作方法、电子封装、封装方法,涉及集成电路技术领域,能够有效改善扇出型封装结构的翘曲情况,提高扇出型封装结构与其他基板的焊接良率。所述封装结构包括:载片,所述载片的材料为无机材料;芯片,设置于载片的第一表面,其中,所述芯片具有芯片引脚,芯片引脚位于所述芯片的、远离所述载片的表面;载片包覆层,设置于所述载片和所述芯片上,覆盖所述第一表面的目标区域,并包覆所述芯片,其中,所述目标区域为:所述第一表面中,所述芯片所在区域之外的区域;所述载片包覆层的材料为绝缘的无机材料;载片重布线层,设置于所述载片包覆层上,并通过载片包覆层上的第一导电过孔与所述芯片引脚电连接。
技术关键词
扇出型封装结构
芯片
衬底
复合体
包覆层
封装基板
无机材料
电子封装
贴片
封装方法
重布线层
导电
物理气相淀积
标记
集成电路技术
连线
绝缘