摘要
一种半导体器件包括:下芯片结构,包括存储结构和连接到存储结构的下布线结构;以及位于下芯片结构上的上芯片结构,其中,上芯片结构包括:上基底;位于上基底下方的外围晶体管;中间布线结构,位于上基底下方并且连接到外围晶体管;位于上基底上的上布线结构;第一贯通通路,在上布线结构与中间布线结构之间穿透上基底,第一贯通通路连接上布线结构和中间布线结构;以及第二贯通通路,在上布线结构与下布线结构之间穿透上基底并且向下延伸,第二贯通通路连接上布线结构和下布线结构。
技术关键词
布线结构
芯片结构
半导体器件
基底
数据存储结构
上半导体衬底
晶体管
单元开关
器件隔离区域
阻挡层
读出放大器
间隔物
导电
电极
绝缘
位线