一种模块散热结构及其散热方法

本发明公开一种模块散热结构及其散热方法，属于半导体技术领域，包括连接DBC陶瓷基板的散热本体，所述散热本体设置有进口流道、出口流道和热交换区，所述进口流道顺次连通各所述热交换区的进口侧，所述出口流道顺次连通各所述热交换区的出口侧，相邻的所述热交换区之间的所述进口流道内设置有微流泵，所述热交换区用于连接所述DBC陶瓷基板，所述热交换区连接有温度传感器，所述温度传感器、所述微流泵分别与控制器电性连接，通过调节所述微流泵的流量，调节所述热交换区的散热能力。本发明利用微流泵控制进口流道进入热交换区的流量，进而控制热交换区对所对应的DBC陶瓷基板相应区域的散热能力，实现不同区域的均衡散热。