摘要
本申请提供一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,涉及半导体加工领域。一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,包括前置清洗架、中置清洗架和后置清洗架:所述中置清洗架和后置清洗架的底部固定连接有固定箱,且固定箱内腔的四周均固定连接有气缸筒;所述固定箱的四周均分别设置有调节组件和防挡组件;所述气缸筒的内腔设置有供给组件,且供给组件的另一侧分别设置有清洗组件和对流组件。该具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,采用封堵防挡和对流吸水相结合的方式,以清洗剂为介质的前提下,取代带有刷毛的清洗辊对芯片框架以及晶元进行转动清洗操作,实现芯片框架的高效清洗效果。
技术关键词
清洗系统
气缸筒
双头电机
双头喷嘴
电加热板
歧管
清洗组件
芯片
框架
同步轮
T型滑轨
吸水海绵
调节组件
内腔
螺纹套
封堵板
储存罐
同步带传动
凸轮
回流管
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