一种玻璃嵌入式可拆卸表面波声流控分选芯片及其制作方法

本发明公开了一种玻璃嵌入式可拆卸表面波声流控分选芯片及其制作方法，该分选芯片包括上层的玻璃嵌入式PDMS基片及下层的压电换能器盖片，基片和盖片间含有PDMS耦合层，玻璃嵌入式PDMS基片采用二次倒模的方法成型。本发明提供的一种玻璃嵌入式可拆卸表面波声流控分选芯片，可满足生物样本处理器件的一次性使用需求，同时通过玻璃片增强声场强度，保证对于外囊泡等亚微米粒子具有更好的分选效果。本发明提供的一种玻璃嵌入式可拆卸表面波声流控分选芯片的制作方法，将玻璃片嵌入分选通道顶部增强声场的同时，能够保证分选通道高度的均匀性，不会在玻璃材料与PDMS材料过渡界面形成阶梯状的断层，从而保证了通道内流场的稳定性。