摘要
本申请公开一种芯片制备方法,包括步骤:制备基底,基底包括层叠设置的功能层和衬底层,功能层背离衬底层的一侧表面包括相互连接的第一区域和第二区域;在第二区域形成扩散层;在扩散层背离衬底层一侧以及第一区域形成保护层;进行退火处理,以将功能层中与扩散层对应的部分转型;在两个保护层背离衬底层的一侧分别形成金属层。在功能层的第一区域形成保护层,在第二区域依次形成扩散层和保护层,使得退火过程中与扩散层对应的部分转型成P型区,P型区与原有的N型区相互连接形成PN结,可以增大PN结区域的体积,使得更多的电荷进入PN结区域进行分离,产生更多有效的光生电流,减少复合电流,提高芯片的量子效率。本申请还公开一种芯片。
技术关键词
扩散层
光刻胶
衬底层
芯片
PN结
涂抹
基底
开孔位置
导线
碲化镉
硫化锌
层叠
电流
镀膜
通道
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尺寸
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