摘要
本发明涉及一种三维集成结构及其封装方法。本发明包括Core材,包括贯穿于相对的正反两面的若干个金属化通孔,各金属化通孔的两端凸设有凸点焊盘,Core材还开设有镂空区域;芯片,设置于镂空区域内;包覆膜,填充于镂空区域内且覆盖于Core材正反两面,并暴露各凸点焊盘表面;布线层,分别设置于Core材正反两面上的包覆膜的表面,且与各凸点焊盘接触;钝化层,覆盖于各布线层;焊球凸点,各钝化层表面具有延伸至布线层的开口;各封装体通过各自的焊球凸点与相邻的封装体的布线层接触,且相邻两个封装体之间形成的缝隙中填充有底部填充胶。本发明将多个芯片或功能模块在三维空间内进行集成封装,形成紧凑、高性能的三维封装结构。
技术关键词
三维集成结构
封装体
包覆膜
封装方法
金属化
底部填充胶
布线
三维集成封装结构
三维封装结构
芯片
绝缘材料
通孔
激光烧蚀
缝隙
功能模块
载体
高性能