摘要
本发明提供了一种扇出型封装结构的制备方法和扇出型封装结构,涉及芯片封装技术领域,先在牺牲载具的正面中部开槽形成第一凹槽,然后在第一凹槽内贴装晶圆。再填充塑封胶层,再研磨减薄晶圆和塑封胶层,然后填充背胶塑封层。再翻转牺牲载具,在牺牲载具的背面中部形成第二凹槽,然后形成扇出布线层,并在扇出布线层上植球后切割。相较于现有技术,本发明通过牺牲载具来容纳晶圆,并利用第一凹槽来实现对减薄后的晶圆进行支撑,使得晶圆能够得到良好的周缘支撑,从而解决卷曲的问题,并且能够有效地利用晶圆边缘区域放置芯片,保证了晶圆有效区域的面积,同时在第二凹槽内布线,划定了布线区域,有利于布线重新分布工艺,保证了布线效果。
技术关键词
扇出型封装结构
背胶
凹槽
介质
布线
晶圆
焊球
芯片封装技术
蚀刻停止层
外露
焊盘
涂覆
正面
卷曲
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