硬质晶舟异形表面高效高精开槽复合加工方法及加工设备

本发明涉及机械加工技术领域，特别是指硬质晶舟异形表面高效高精开槽复合加工方法及加工设备，解决了现有技术中磨轮加工损耗快、效率低、精度差的问题，加工方法包括以下步骤：S1：建立晶舟工件的三维模型；S2：装夹晶舟毛坯件；S3：在位测量晶舟毛坯件定位坐标；S4：在晶舟毛坯件上激光加工收容槽轮廓；S5：在复合加工设备上安装磨轮；S6：在位测量磨轮特征参数及定位坐标；S7：磨轮精密磨抛晶舟半成品上的收容槽；S8：磨轮磨损度评测；S9：清洗、检测晶舟工件。有益效果是：融合了激光高效加工和磨轮精密磨抛的优势，解决碳化硅晶舟硬质、异形、槽型特殊等加工难题，满足一体式碳化硅晶舟表面异形位置上特殊廓形收容槽的高精度、高质量、高效率加工。