摘要
本发明公开了一种仿生超材料宽光谱偏振光电探测集成组件及制备方法,以镓‑铟合金、硅、氧化硅、金电极、硅仿生手性超表面、金仿生手性超表面和石墨烯共同构成集成式手性仿复眼超材料宽光谱偏振光电探测器主体。经金属氧化物半导体场效应晶体管选通后的器件电流信号通过电路接口传输回计算机端进行计算处理,阵列像素器件通过时分复用的形式以扫描式交替读出光电探测信号。本发明提出的这种单片集成式手性仿复眼超材料宽光谱偏振光电探测组件非常适合各种基于宽广谱探测以及偏振极化的应用,包括偏振极化宽广谱成像,生物传感和量子信息处理,尤其是对于经常需要复杂而庞大的光电系统的各种应用至关重要。
技术关键词
金属氧化物半导体场效应晶体管
超材料
偏振光
集成组件
印刷电路板电路
印刷电路板边缘
读出电路
光刻胶
石墨烯
探测器
辅助镜头
氧化硅
等离子干法刻蚀
电极
硅片
时分复用
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