MEMS麦克风及电子设备

本发明涉及麦克风技术领域，具体而言涉及一种MEMS麦克风及电子设备。该MEMS麦克风包括线路板、外壳、MEMS芯片和双层垫片，其中线路板设有声孔，MEMS芯片连接线路板，MEMS芯片与声孔对应设置，外壳盖设于线路板并与线路板围出声腔，MEMS芯片设于声腔，双层垫片盖设于声孔，双层垫片包括第一层、第二层及贯通第一层和第二层的通孔，声孔通过通孔与声腔相连通，第一层面向声腔设置，第二层面向声孔设置，且第二层面向声孔的一侧具有粘性。根据本发明的MEMS麦克风，通过双层垫片的第二层面向声孔的一侧具有粘性，能够有效粘附通过声孔进入的异物，显著降低了异物对MEMS芯片振膜和背极的污染和损伤风险。同时，在气流通过声孔时，垫片起到了缓冲作用。