高度测量组件、三维测量组件及测量方法

本发明公开了一种高度测量组件、三维测量组件及测量方法。高度测量组件用于对样品进行测量，样品包括多层样线。高度测量组件包括第一物镜与第一光源。第一物镜的放大倍数为X1，1＜X1＜10，第一物镜的数值孔径为NA1，NA1＜0.5。第一光源的光线相对于成像系统光轴的照射角度为θ，45°≤θ≤90°。其中，使高度测量组件沿竖向运动以使样线于第一物镜内成像，竖向垂直于成像系统光轴，沿竖向样线的圆心相对于高度测量组件的位置高度为Z。三维测量组件包括高度测量组件与水平测量组件。本方案能够提升测量效率，保障测量精度。