摘要
一种超短波长SPP激发与超分辨成像光学系统,包括激光器,所述激光器发出光束通过端面带有微纳结构的光纤照射于待测成像样品,待测成像样品放置于三维位移台上,显微物镜接收三维位移台上待测成像样品的成像结果;激光器出射的光束耦合进入光纤后,传输至面带有微纳结构的光纤的另一个端面激发超短波长的SPP,将带有微纳结构的光纤的端面逐步靠近待测样品表面至百纳米范围以内,并应用SPP照明样品表面,被照明区域会发生移频成像,成像结果可以被显微物镜所接收,利用三维位移台来移动成像样品,从而扫描样品表面并将不同区域的成像结果进行拼接,进而获得大面积的超分辨成像结果;本发明的成像光路结构简单,无需对样品荧光染色,且与普通光学显微镜有很强的兼容性,具有成本低、效率高和操作简单的特点。
技术关键词
成像光学系统
超短波
微纳结构
激光器
单模光纤
亚波长光栅结构
成像光路结构
扫描样品表面
高精密表面
表面缺陷检测
物镜
位移台
光束
光学显微镜
金属材料
纳米量级
半导体芯片