一种晶圆表面缺陷检测方法、装置及计算机设备

本发明涉及晶圆表面缺陷检测技术，具体涉及一种晶圆表面缺陷检测方法、装置及计算机设备；所述方法包括获取目标图像和参考图像；提取所述目标图像的图像特征；所述图像特征包括灰度共生矩阵特征、直方图统计特征、图像互相关特征、傅里叶谱互相关特征、Hu不变矩特征以及低频集中特征；所述图像互相关特征和所述傅里叶谱互相关特征基于所述参考图像确定；将所述目标图像的图像特征输入到预先训练好的机器学习模型中，对所述图像特征进行缺陷检测处理，输出所述目标图像的缺陷检测结果。本发明整合形成8个特征点，实现了对晶圆图像特征的集中和提取，从而极大的避免了现有深度学习和机器学习的检测方案需要的极大计算量和数据量的难点。