摘要
本发明公开了一种多芯片封装结构及其制造方法,涉及半导体技术领域,制造方法包括:刻蚀导电载板形成图案化载板;在元件贴装槽的预设区域贴装第一元器件组,在导电框架的预设区域贴装第二元器件组;基于导电接合剂将图案化载板和导电框架对位贴合形成封装框架体;往封装框架体中注入绝缘封装材料,绝缘封装材料填满封装框架体中的空隙形成第一半成品封装体;从图案化载板侧研磨第一半成品封装体,露出第一元器件组,获得第二半成品封装体;沿着预设区域切割第二半成品封装体,获得封装体成品。本发明不仅易于进行多芯片集成封装,而且还可以有效降低多芯片封装结构的厚度,从而显著提高散热效果,有利于延长芯片的使用寿命。
技术关键词
多芯片封装结构
元器件组
导电框架
绝缘封装材料
接合剂
封装框架
封装体
半成品
多芯片集成封装
元件
对位贴合
载板
围墙
盲孔
防氧化层
空隙