一种扫描镜电容测量模块

本发明提出一种扫描镜电容测量模块。该模块包括交流信号发生电路，用于产生固定频率的交流信号；待测电容，用于计算扫描镜与底部电容极板的距离，进而计算出扫描镜的姿态角；分压电路，用于与待测电容串联分压；检波电路，用于提取交流信号中的低频电容容值信号；模数转换电路，用于测量电容容值，将模拟信号转换为数字信号；分压装置与交流信号发生装置、待测电容和检波电路装置连接；ADC检测电路与检波电路装置连接。本申请提供的方案，在实现高精度电容容值测量的同时，提高了采样速度，通过测量电容获得扫描镜旋转角度。