一种基于晶圆制造的异常检测方法、装置和电子装置

本申请涉及一种基于晶圆制造的异常检测方法、装置和电子装置，该异常检测方法包括：通过对训练数据进行预处理，进而根据预处理后的训练数据，以及双向限制对抗学习，训练得到目标深度学习模型。获取并预处理待检测时序数据，根据预先训练好的目标深度学习模型，确定待检测时序数据对应的重构误差；根据重构误差确定异常序列，并根据预设序列长度的滑动窗口对异常序列中的异常分值进行评估，确定目标晶圆设备异常数据，有利于捕捉和识别多种类型的异常情况，进而提高了对待检测时序数据中的异常数据的识别效率。