一种波导微波探针

本发明公开了一种波导微波探针，属于芯片测试设备技术领域，包括探针针尖（1）、探针支架腔体（2）、探针上部左腔体（3）和探针上部右腔体（4），其中，所述探针支架腔体（2）设置有波导通道以及用于所述探针针尖（1）放置的位置，所述探针针尖（1）设置于探针支架腔体（2）前端，所述探针上部左腔体（3）与探针上部右腔体（4）左右相接构成探针主体，在所述探针主体的末端设置用于与波导接口连接的法兰；本发明能够实现超过110GHz的芯片在片测量，并且结构简单，容易实现。