摘要
本发明涉及半导体加工技术领域,具体为一种用于光学调制器芯片加工的接送料装置,包括送料箱本体,所述送料箱本体的右侧表面从前至后依次设置有控制面板、伺服电机和箱门本体,所述伺服电机的输出端表面设置有传送带,所述送料箱本体的顶面固定连接有第一安装板,所述第一安装板的顶面固定连接有支撑块,所述支撑块的上表面设置有第一电机;第一齿轮,所述第一齿轮安装在第一电机的输出端。本发明通过防护膜和芯片会掉落到收集箱的内部,从而循环该操作,芯片会码垛在收集箱的内部,同时芯片通过防护膜进行保护,避免芯片之间相互抵触,整体码垛效果较好,然后将箱门本体打开,将收集箱取出即可,从而能够对芯片进行稳定的接送料。
技术关键词
光学调制器
送料装置
芯片
收集箱
伺服电机
转动轴
齿轮
安装板
支撑块
控制面板
输出端
箱门
安装块
传送带
防护膜
齿条
限位块
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