摘要
本发明公开了一种激光器模组及其制作方法,激光器模组包括:基板,具有相对设置的第一表面和第二表面,第二表面上形成有隔离设置且均延伸至第一表面的第一引线电极和第二引线电极;激光器芯片,设置于基板的第一表面上,激光器芯片包括发射区以及位于发射区边缘的连接区;连接区的最大宽度小于或等于20μm;发射区由阵列设置的多个发光单元组成,发光单元具有第一电极和第二电极,第一电极在连接区内与基板的第一引线电极相连通,第二电极与基板的第二引线电极相连通。本发明的激光器模组及其制作方法,大大提高外延的利用率,降低激光器芯片成本,同时提升电流注入均匀性,减少RC延迟。
技术关键词
引线电极
激光器模组
激光器芯片
发光单元
基板
外延结构
绝缘材料
衬底
有源区
阵列
电流