基板支架及包括基板支架的基板处理设备

本公开涉及一种基板支架和包括所述基板支架的基板处理设备，更具体地说，涉及一种能够防止基板过度变形以稳定支撑基板的基板支架，以及包括所述基板支架的基板处理设备。所述基板支架包括具有多个孔并且基板安放在其上的基板安放部，用于支撑所述基板安放部的平台部，以及用于对所述多个孔中的至少一部分提供负压以使基板被吸附的排气部件。所述基板安放部包括多孔缓冲垫部，所述多孔缓冲垫部经配置以提供基板安放的安放面，所述安放面具有多个相互连通以定义第一通道的第一孔，所述第一通道的一端暴露于所述安放面，并且所述多孔缓冲垫部由具有弹性的材料制成。