一种晶圆腐蚀实验的自动化方法

本发明涉及晶圆腐蚀试验技术领域，尤其涉及一种晶圆腐蚀实验的自动化方法。技术问题：该晶圆腐蚀实验的自动化方法旨在解决现有技术下人工手动操作可能会导致实验结果存在不确定性因素的技术问题。技术方案：一种晶圆腐蚀实验的自动化方法，包括有自行开发的操控软件和执行操作的设备；操控软件可进行通电腐蚀时长、通电腐蚀电压大小、腐蚀过程中超声清洗频率以及时长、清洗时长、清洗过程中超声清洗频率及时长参数的设置。本发明将传统人工手动操作流程转化为设备自动化实验流程，为腐蚀工艺增添新活力，从而保证稳定且可重复验证的结果，利用超声清洗，促进晶圆腐蚀过程中废弃物脱落，通过数字化记录实验参数，有效避免人为记录错误。