一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统

本发明公开了一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统，所述方法包括：步骤1、将多个粒子探测器布置在辐照点四周，将靶材放置在辐照质子流下；步骤2、辐照质子流照射辐照点上的靶材；步骤3、质子与晶圆发生核反应产生次级粒子，粒子探测器接收到散射的次级粒子；步骤4、依据点核积分算法，根据接收到的次级粒子信息，得到辐照点对单个探测器的距离，结合多个粒子探测器之间的距离得到辐照点的具体位置。本发明基于高能氢离子注入产生的次级粒子，依托粒子探测器可针对氢离子注入过程进行监控，结合点核积分算法反演，达到晶圆辐照点定位。