一种毫米波卫星通信用高选择性超宽带GaAs滤波芯片

本发明公开了一种毫米波卫星通信用高选择性超宽带GaAs滤波芯片，涉及滤波芯片技术领域，包括表层氮化硅涂层，介质基板，接地板以及设置于表面涂层的高选择性超宽带GaAs滤波芯片，高选择性超宽带GaAs滤波芯片包括输入端口，输出端口，输入馈线，输出馈线，第一信号通路，第二信号通路。其中，第一信号通路由两段互相平行的耦合线组成，用于构建基础通带；第二信号通路由共面波导结构和两段短路枝节组成，共面波导结构能够减小阻抗和电长度，增加带宽，而两段短路枝节可以增加两个零点，实现高选择性，以上结构实现了所述结构的高选择性超宽带滤波功能。本发明结合IPD工艺，实现了小型化，高选择性的高性能超宽带滤波特性。