一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统

本发明属于芯片刻蚀管理技术领域，具体是一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统，其中，该系统包括处理器、刻蚀监控模块、在线处理识别模块、反馈控制模块、控制监管模块和显示预警模块；本发明通过刻蚀监控模块对芯片的刻蚀过程进行实时监控拍摄，在线处理识别模块识别出当前的刻蚀工艺状态，反馈控制模块对芯片的刻蚀过程进行实时反馈控制，控制监管模块将反馈控制模块的控制表现进行检测分析，有效保证针对芯片刻蚀的刻蚀效果和刻蚀效率，且能够对监控摄像异常状况进行逐步评估，以及合理判断相应芯片刻蚀工艺产线的管控风险性并精准评估相应产线的巡检执行表现状况，智能化和自动化程度高。