摘要
本发明公开了一种降低蓝宝石生长功耗的热场装置,涉及单晶炉热场领域。现提出如下方案,其包括:加热单元,围绕布设在坩埚四周;反射筒,围绕布设在加热单元四周,用于反射热量;所述加热单元包括:钨管,呈S形围绕于坩埚四周,所述钨管的两端分别固定有第一极管和第二极管,所述第一极管和第二极管上皆固定有端盖;石墨芯,设置于钨管内,且所述石墨芯通过端盖与钨管固定连接;第一电磁阀,固定于其中一个所述端盖上,用于排压;第一采集模块,用于获取钨管内压力值。通过在坩埚外部围绕布设加热单元,通过加热单元内石墨芯加热,热量通过钨管传导,即屏蔽了第一极管,避免石墨氧化影响蓝宝生长,也解决钨金属功耗高的问题。
技术关键词
加热单元
保温桶
功率值
功耗
二极管
屏蔽板
电磁阀
坩埚
朴素贝叶斯模型
端盖
支持向量机模型
单晶炉热场
石墨
指令方法
压力
数据
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