一种降低蓝宝石生长功耗的热场装置

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一种降低蓝宝石生长功耗的热场装置
申请号:CN202410826121
申请日期:2024-06-25
公开号:CN118600563B
公开日期:2025-05-06
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种降低蓝宝石生长功耗的热场装置,涉及单晶炉热场领域。现提出如下方案,其包括:加热单元,围绕布设在坩埚四周;反射筒,围绕布设在加热单元四周,用于反射热量;所述加热单元包括:钨管,呈S形围绕于坩埚四周,所述钨管的两端分别固定有第一极管和第二极管,所述第一极管和第二极管上皆固定有端盖;石墨芯,设置于钨管内,且所述石墨芯通过端盖与钨管固定连接;第一电磁阀,固定于其中一个所述端盖上,用于排压;第一采集模块,用于获取钨管内压力值。通过在坩埚外部围绕布设加热单元,通过加热单元内石墨芯加热,热量通过钨管传导,即屏蔽了第一极管,避免石墨氧化影响蓝宝生长,也解决钨金属功耗高的问题。
技术关键词
加热单元 保温桶 功率值 功耗 二极管 屏蔽板 电磁阀 坩埚 朴素贝叶斯模型 端盖 支持向量机模型 单晶炉热场 石墨 指令方法 压力 数据
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