LED芯片、提升LED芯片发光性能的外延片及制备方法

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LED芯片、提升LED芯片发光性能的外延片及制备方法
申请号:CN202410826394
申请日期:2024-06-25
公开号:CN118630112A
公开日期:2024-09-10
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种LED芯片、提升LED芯片发光性能的外延片及制备方法,该外延片的结构包括衬底,以及依次沉积在衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、n型GaN层、应力释放层、超晶格结构层、多量子阱层、电子阻挡层和p型GaN层;超晶格结构层包括GaN层以及沉积在GaN层上的MoS2薄膜,本发明通过增加超晶格结构层,在GaN上镀MoS2薄膜,形成MoS2/GaN异质结结构,增大电子和空穴的复合率,有效提高复合发光率,拓宽吸收范围。
技术关键词
超晶格结构层 LED芯片 AlN缓冲层 MoS2薄膜 GaN层 射频等离子体源 电子阻挡层 应力释放层 GaN薄膜 多量子阱层 衬底 外延片 二甲基甲酰胺溶剂 异质结结构 液相剥离 上沉积 中间体
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