摘要
本发明公开了一种LED芯片、提升LED芯片发光性能的外延片及制备方法,该外延片的结构包括衬底,以及依次沉积在衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、n型GaN层、应力释放层、超晶格结构层、多量子阱层、电子阻挡层和p型GaN层;超晶格结构层包括GaN层以及沉积在GaN层上的MoS2薄膜,本发明通过增加超晶格结构层,在GaN上镀MoS2薄膜,形成MoS2/GaN异质结结构,增大电子和空穴的复合率,有效提高复合发光率,拓宽吸收范围。
技术关键词
超晶格结构层
LED芯片
AlN缓冲层
MoS2薄膜
GaN层
射频等离子体源
电子阻挡层
应力释放层
GaN薄膜
多量子阱层
衬底
外延片
二甲基甲酰胺溶剂
异质结结构
液相剥离
上沉积
中间体