摘要
本发明涉及晶体生长炉技术领域,特别涉及一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,包括晶体生长炉,所述晶体生长炉内部底板上转动连接有基座,所述基座上固定有石墨坩埚,所述石墨坩埚内固定有石英坩埚,所述晶体生长炉内壁上位于石墨坩埚的外侧设置有电加热板,所述晶体生长炉的底部设置有驱动机构,所述基座上设置有联动机构,且联动机构与电加热板传动连接。本发明提供的一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,通过控制石英坩埚转动,提高其受热的均匀性,在控制石英坩埚转动的基础上,同步实现调节电加热板在石英坩埚上的位置,使电加热板辐射至坩埚上的热量更加的均匀,实现炉内温度的均匀分布,提高晶体生长质量、缩短生长周期。
技术关键词
高压炉
电加热板
机器学习模型
石墨坩埚
移动式
电阻加热体
石英坩埚
联动机构
参数
速度
晶体生长炉技术
籽晶夹头
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基座
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液压伸缩杆
缩短生长周期
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