一种传动旋转移动式晶体生长高压炉

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一种传动旋转移动式晶体生长高压炉
申请号:CN202410826466
申请日期:2024-06-25
公开号:CN118745592B
公开日期:2025-04-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及晶体生长炉技术领域,特别涉及一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,包括晶体生长炉,所述晶体生长炉内部底板上转动连接有基座,所述基座上固定有石墨坩埚,所述石墨坩埚内固定有石英坩埚,所述晶体生长炉内壁上位于石墨坩埚的外侧设置有电加热板,所述晶体生长炉的底部设置有驱动机构,所述基座上设置有联动机构,且联动机构与电加热板传动连接。本发明提供的一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,通过控制石英坩埚转动,提高其受热的均匀性,在控制石英坩埚转动的基础上,同步实现调节电加热板在石英坩埚上的位置,使电加热板辐射至坩埚上的热量更加的均匀,实现炉内温度的均匀分布,提高晶体生长质量、缩短生长周期。
技术关键词
高压炉 电加热板 机器学习模型 石墨坩埚 移动式 电阻加热体 石英坩埚 联动机构 参数 速度 晶体生长炉技术 籽晶夹头 熔体 基座 数据采集模块 液压伸缩杆 缩短生长周期 籽晶杆
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