一种宽带在片差分S参数校准方法

本发明提供一种宽带在片差分S参数校准方法，涉及晶圆级半导体器件微波特性测量技术领域。本发明通过对在片差分S参数测量系统进行两次两端口多线TRL校准、一次两端口未知直通校准，结合端口间矩阵运算得到四个端口全部误差项，可求解出件的多端口S参数，再将四个端口的常规S参数计算转化为差分S参数。在该过程中，由于采用可溯源的多线TRL校准算法，可有效提高在片差分S参数的测量准确度。