一种高性能宽带薄膜IPD滤波器芯片

本发明公开了一种高性能宽带薄膜IPD滤波器芯片，包括上层的金属微带线和MIM电容，中间层的微带介质板，贯穿微带介质板的金属柱和绝缘介质柱，以及下层的接地金属板；其中金属微带线包括一对输入/输出馈线，螺旋线型结构的第一至第四电感，折线型结构的第五、第六电感，叉指型结构的第一、第二电容，以及用于连接电感、MIM电容的金属桥；MIM电容包括第三至第七电容；通过HFSS建模和ADS仿真电路模型，找到易受寄生电容影响的导致滤波器性能恶化的第三电容和第四电容，在其下方设置绝缘介质柱可以有效地降低寄生电容的影响，优化滤波器芯片性能。本发明不仅可以满足滤波器芯片小尺寸、低成本、低损耗的要求，还可以优化滤波器芯片的性能。