一种微槽的内壁结构特征参数的光学测量方法

一种微槽的内壁结构特征参数的光学测量方法，该方法包括：使具有预设波段的探测光以目标入射位置和目标入射角度入射至微槽的第一内壁上，依次经第一内壁、微槽底面反射至微槽的第二内壁上，最后经微槽的第二内壁反射后自微槽出射，得到出射光，预设波段包括多个波长；根据每个波长的探测光的光强和具有该波长的出射光的光强得到该波长下的反射率；根据预设波段中不同波长的反射率得到微槽的目标反射率曲线图；根据微槽的目标反射率曲线图和微槽的反射率曲线数据库得到微槽的内壁上扇贝形貌的周期和振幅，内壁上扇贝形貌的周期和振幅适用于表征微槽的内壁结构特征参数。