一种基于ARM的半导体温度PID控制方法

本发明公开了一种基于ARM的半导体温度PID控制方法，涉及数字控制技术领域。通过采集管道内气体的特征参数数据，构建以特征参数变化量为输入，以加热器输出功率的变化量为输出的神经网络模型，输出特征参数变化量与加热器输出功率变化量的函数关系式，构建预测模型输出特征参数变化量的预测值，根据函数关系式求解加热器输出功率的变化量的预测值，以获取的预测值作为加热器输出功率的修正值，获取加热器的温度差与温度误差变化率作为模糊控制器中的输入参数，经模糊控制器的控制规则处理后，输出直接控制PWM模块占空比的PID控制参数，进而获取加热器输出功率的控制值，根据获取的控制值和修正值计算加热器输出功率的实际值。