能够调控出光面光束形貌的发光二极管的制作方法

本发明提出一种能够调控发光二极管光束形貌的方法，包括如下步骤：在衬底上制作外延层；加工外延层制作欧姆接触，定义光束形貌，借助对应的对准标记，对衬底层对应的区域进行激光蚀刻，得到对应的图形化结构，从而得到具有符合预设光束形貌的芯片。本发明能够以简单的工艺获得出光面光束形貌可调的发光二极管芯片，制作成本低，且能够适用于不同衬底结构的发光二极管。