电力电子器件的终端结构及其制备方法

本发明公开了一种电力电子器件的终端结构及其制备方法。该电力电子器件的终端结构包括第一导电类型衬底、第一导电类型外延层，第二导电类型结区、第二导电类型扩展区，第一沟槽、第二沟槽，钝化层，阳极电极，阴极电极。于器件终端区形成N个间隔分布的第一沟槽和第二沟槽，于第一沟槽和第二沟槽的周围形成完全包裹第一沟槽和第二沟槽的第二导电类型扩展区，在具备较小的终端芯片面积的同时，显著提升了终端区等势线的均匀程度，大幅提高了终端结构的效率，有效确保了器件的耐压能力。本发明同时公开了所述器件结构的制备方法。