一种深孔刻蚀工艺参数确定方法及电子设备

本申请提供了一种深孔刻蚀工艺参数确定方法及电子设备，其中，所述深孔刻蚀工艺参数确定方法基于多个初始工艺配方将各个工艺配方所对应的多个工艺结果参数作为优化目标对工艺配方中各目标工艺参数的参数值进行迭代优化，获得多个候选工艺配方，并将候选工艺配方分别输入至每一个工艺结果参数的预测模型，得到该候选工艺配方对应的各工艺结果参数的预测值，进而根据各候选工艺配方对应的多个工艺结果参数的预测值能够快速准确地确定目标工艺配方，以根据各目标工艺配方确定每一个目标工艺参数的目标值，有效保证了工艺参数的设计效率和设计结果的合理性，且无需对各目标工艺参数的所有可能取值进行试验验证，减少了人力和物料成本的耗费。