一种抛光液补液设备、方法以及装置

本发明提供了一种抛光液补液设备、方法以及装置。该设备包括：存储罐，用于回收和存储抛光液，并为与所述存储罐连接的抛光设备提供抛光液；数据分析装置，用于根据所存储的目标模型确定对所述存储罐进行补液的第一速度，并将所述第一速度作为补液速度发送给控制装置；与所述数据分析装置连接的所述控制装置，用于根据所述数据分析装置发送的补液速度控制补液系统对所述存储罐进行补液的速度。本发明的方案，根据包括抛光设备的运行参数和抛光垫的磨损情况，确定所述抛光设备的抛光液消耗量，从而确定对存储罐进行补液的第一速度，实现了对抛光液的自动补液，提高了抛光效率且避免了因补液不及时造成晶圆报废的问题。