摘要
本发明公开一种自带电磁波阻挡结构的扇出型封装结构的封装方法,包括以下步骤:提供载体Ⅰ,在载体Ⅰ上布置金属线路和隔离绝缘层;随后在载体Ⅰ上贴装若干个芯片,并使芯片与金属线路电连;再在芯片四周制备电磁波阻挡层,随后将所有芯片塑封,得到塑封体;再在塑封体上键合载体Ⅱ,以降低整体翘曲;随后拆除载体Ⅰ,在隔离绝缘层远离芯片的一面制备隔离层,在隔离层上设置锡球或金属柱,最后移去载体Ⅱ,将所得晶圆切割成单颗芯片。本发明将单个封装体内的所有芯片四周分别设置电磁波阻挡层,使各芯片的信号可以有效传输及被接受,同时能够避免受到其它封装体的信号干扰,亦不会影响其它封装体的信号运算和传输,可成倍提升整个器件的信号品质。
技术关键词
阻挡结构
封装结构
芯片
封装方法
金属焊盘结构
载体
阻挡层
隔离材料
线路
金属垫片
无机材料
晶圆
环氧树脂
信号
氮化硅
锡球
氧化硅
金属板
包裹
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