摘要
本发明提供一种三维封装芯片及其制造方法,所述三维封装芯片包括:第一芯片及第二芯片;隔离层,设置在所述第一芯片和所述第二芯片之间;导电结构,穿过所述隔离层连接所述第一芯片和所述第二芯片;磁感材料层,设置在所述隔离层中,且所述磁感材料层位于相邻的两列所述导电结构之间;以及第一金属层和第二金属层;其中,所述第一金属层、所述磁感材料层一侧的所述导电结构、所述第二金属层,以及所述磁感材料层另一侧的所述导电结构依次连接,形成环绕所述磁感材料层的螺旋通路。通过本发明提供的一种三维封装芯片及其制造方法,可解决集成电路中大电感的封装问题。
技术关键词
磁感材料
三维封装芯片
导电结构
导流
螺旋
集成电路
间距
电感
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